
Производительность, м³/ч до 100 000
Чистота азота,%до 99,9999
Чистота кислорода,%до 99,95
Чистота аргона,%до 99,9999
Давление, МПадо 20
Температура точки росы, °С−60…−70
Условия эксплуатации, °Сот -45 до +40
Ресурс работы установки, тыс. часов150-250